現(xiàn)在各行各業(yè)的技術(shù)都在在一天天進(jìn)步，很多事情已研究和開發(fā)，我們的工作和生活已經(jīng)帶來了偉大的變化，高溫度接近傳感器是其中之一。
高溫度接近傳感器是最常用的工業(yè)實踐，廣泛應(yīng)用在各種工業(yè)自動化環(huán)境，涉及石油管道，水水利水電，鐵路運(yùn)輸，建筑智能化，生產(chǎn)控制，航空航天，軍事，石化，石油，電力，船舶，機(jī)械工具，管道，鍋爐，爐，等。
高溫電阻靠近傳感器是為了解決高溫環(huán)境下各種氣體和液體的壓力。主要用于鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器、發(fā)動機(jī)室內(nèi)壓力、高溫油面檢測、油氣井壓力測量等領(lǐng)域的壓力測量。目前，研究和比較高的溫度接近傳感器是主要SOS，SOI，poly2si，SiO2和其他半導(dǎo)體傳感器，濺射合金薄膜是接近傳感器，高溫光纖壓力傳感器，高溫電容式壓力傳感器。半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗低，且對壓力敏感。因此，電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。
高溫電阻接近傳感器由硅膜片、基板、下電極和絕緣層組成。底部電極位于基板上，具有厚的支持。電極上蒸發(fā)了一層絕緣層。硅膜片是利用各向異性腐蝕技術(shù)，在一塊硅上形成正、負(fù)腐蝕。的上部和下部電極之間的間隙是由硅晶片的腐蝕深度確定。將硅膜與基體結(jié)合起來，形成一定的硅膜片電容式壓力傳感器的穩(wěn)定性。 |
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