電阻就礦業(yè)片可分為金屬應變片和半導體應變片兩大類。金屬應變片又可分為金屬絲式、箔式、薄膜式三種。
金屬應變片分為金屬絲式應變片和金屬應變片，與光電開關傳感器的器件相比不同的地方做以下詳細介紹：
1、金屬絲式應變片：
金屬絲式具應變片由金屬電阻應變絲、基體、保護層和引線等部份組成。金屬電阻就礦業(yè)絲又稱為敏感柵，一般敏感柵的直徑為0.015-0.05mm。制作時先將敏感柵粘貼在絕緣的基體上，為方便測量兩端用引線引出，上面再加上保護層，防止外界環(huán)境影響其工作。其特點是蠕動較大，金屬絲比較容易脫落，成本低，價格便宜。
2、金屬箔式應變片：
金屬箔式應變片是通過光記得、腐蝕等工藝，在絕緣基片上制成很薄的金屬箔敏感柵。與金屬絲式應變片相比，它的優(yōu)勢在于敏感柵粘貼面積大，可以更好地隨被測物體變形，橫向效應小，散熱條件好，允許通過的電值較大，可根據實際需要制成各種開關，便于批量生產等，因此已逐漸取代金屬絲式應變片。
3、金屬薄膜式應變片：
金屬薄膜式應變片是采用真空蒸發(fā)或真空沉淀等技術，在非常薄的絕緣基片上形成0.1um以下的金屬電阻薄膜的敏感柵，再加上保護層而制成的。它的優(yōu)點是應變靈敏度高、方便批量生產，工作范圍廣。
在半導體應變片是用半導體材料制成的，測量原理是基于半導體材料的壓阻效應。壓阻效應是指半導體材料在受外力作用時，半導體材料的電阻率P發(fā)生變化的現(xiàn)象，它的優(yōu)勢在于靈敏度高、尺寸小、橫向效應小、動態(tài)響應好，但是又有溫度系數(shù)大，非線性比較嚴重等缺點。 |
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